| ■ 영문 제목 : Rapid Thermal Processing-Annealing (RTP-A) Systems Market, Global Outlook and Forecast 2024-2030 | |
 | ■ 상품코드 : MONT2407F43828 ■ 조사/발행회사 : Market Monitor Global ■ 발행일 : 2024년 3월 ■ 페이지수 : 약100 ■ 작성언어 : 영어 ■ 보고서 형태 : PDF ■ 납품 방식 : E메일 (주문후 2-3일 소요) ■ 조사대상 지역 : 글로벌 ■ 산업 분야 : 산업기계/건설 |
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본 조사 보고서는 현재 동향, 시장 역학 및 미래 전망에 초점을 맞춰, 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장에 대한 포괄적인 분석을 제공합니다. 본 보고서는 북미, 유럽, 아시아 태평양 및 신흥 시장과 같은 주요 지역을 포함한 전 세계 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장을 대상으로 합니다. 또한 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템의 성장을 주도하는 주요 요인, 업계가 직면한 과제 및 시장 참여자를 위한 잠재적 기회도 기재합니다.
글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장은 최근 몇 년 동안 환경 문제, 정부 인센티브 및 기술 발전의 증가로 인해 급속한 성장을 목격했습니다. 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장은 연구 개발, 산업 생산를 포함한 다양한 이해 관계자에게 기회를 제공합니다. 민간 부문과 정부 간의 협력은 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장에 대한 지원 정책, 연구 개발 노력 및 투자를 가속화 할 수 있습니다. 또한 증가하는 소비자 수요는 시장 확장의 길을 제시합니다.
글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장은 2023년에 미화 XXX백만 달러로 조사되었으며 2030년까지 미화 XXX백만 달러에 도달할 것으로 예상되며, 예측 기간 동안 XXX%의 CAGR로 성장할 것으로 예상됩니다.
[주요 특징]
신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장에 대한 조사 보고서에는 포괄적인 통찰력을 제공하고 이해 관계자의 의사 결정을 용이하게하는 몇 가지 주요 항목이 포함되어 있습니다.
요약 : 본 보고서는 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장의 주요 결과, 시장 동향 및 주요 통찰력에 대한 개요를 제공합니다.
시장 개요: 본 보고서는 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장의 정의, 역사적 추이, 현재 시장 규모를 포함한 포괄적인 개요를 제공합니다. 종류(예: 램프, 레이저), 지역 및 용도별로 시장을 세분화하여 각 세그먼트 내의 주요 동인, 과제 및 기회를 중점적으로 다룹니다.
시장 역학: 본 보고서는 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장의 성장과 발전을 주도하는 시장 역학을 분석합니다. 본 보고서에는 정부 정책 및 규정, 기술 발전, 소비자 동향 및 선호도, 인프라 개발, 업계 협력에 대한 평가가 포함되어 있습니다. 이 분석은 이해 관계자가 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장의 궤적에 영향을 미치는 요인을 이해하는데 도움이됩니다.
경쟁 환경: 본 보고서는 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장내 경쟁 환경에 대한 심층 분석을 제공합니다. 여기에는 주요 시장 플레이어의 프로필, 시장 점유율, 전략, 제품 포트폴리오 및 최근 동향이 포함됩니다.
시장 세분화 및 예측: 본 보고서는 종류, 지역 및 용도와 같은 다양한 매개 변수를 기반으로 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장을 세분화합니다. 정량적 데이터 및 분석을 통해 각 세그먼트의 시장 규모와 성장 예측을 제공합니다. 이를 통해 이해 관계자가 성장 기회를 파악하고 정보에 입각한 투자 결정을 내릴 수 있습니다.
기술 동향: 본 보고서는 주요기술의 발전과 새로운 대체품 등 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장을 형성하는 주요 기술 동향을 강조합니다. 이러한 트렌드가 시장 성장, 채택률, 소비자 선호도에 미치는 영향을 분석합니다.
시장 과제와 기회: 본 보고서는 기술적 병목 현상, 비용 제한, 높은 진입 장벽 등 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장이 직면한 주요 과제를 파악하고 분석합니다. 또한 정부 인센티브, 신흥 시장, 이해관계자 간의 협업 등 시장 성장의 기회에 대해서도 강조합니다.
규제 및 정책 분석: 본 보고서는 정부 인센티브, 배출 기준, 인프라 개발 계획 등 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템에 대한 규제 및 정책 환경을 평가합니다. 이러한 정책이 시장 성장에 미치는 영향을 분석하고 향후 규제 동향에 대한 인사이트를 제공합니다.
권장 사항 및 결론: 본 보고서는 소비자, 정책 입안자, 투자자, 인프라 제공업체 등 이해관계자를 위한 실행 가능한 권고 사항으로 마무리합니다. 이러한 권장 사항은 조사 결과를 바탕으로 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장의 주요 과제와 기회를 해결할 수 있습니다.
참고 데이터 및 부록: 보고서에는 분석 및 조사 결과를 입증하기 위한 보조 데이터, 차트, 그래프가 포함되어 있습니다. 또한 데이터 소스, 설문조사, 상세한 시장 예측과 같은 추가 세부 정보가 담긴 부록도 포함되어 있습니다.
[시장 세분화]
신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장은 종류별 및 용도별로 세분화됩니다. 2019-2030년 기간 동안 세그먼트 간의 성장은 종류별 및 용도별로 시장규모에 대한 정확한 계산 및 예측을 볼륨 및 금액 측면에서 제공합니다.
■ 종류별 시장 세그먼트
– 램프, 레이저
■ 용도별 시장 세그먼트
– 연구 개발, 산업 생산
■ 지역별 및 국가별 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장 점유율, 2023년(%)
– 북미 (미국, 캐나다, 멕시코)
– 유럽 (독일, 프랑스, 영국, 이탈리아, 러시아)
– 아시아 (중국, 일본, 한국, 동남아시아, 인도)
– 남미 (브라질, 아르헨티나)
– 중동 및 아프리카 (터키, 이스라엘, 사우디 아라비아, UAE)
■ 주요 업체
– Applied Materials, Mattson Technology, Kokusai Electric, Ultratech (Veeco), Centrotherm, AnnealSys, Koyo Thermo Systems, ECM, CVD Equipment Corporation, SemiTEq
[주요 챕터의 개요]
1 장 : 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템의 정의, 시장 개요를 소개
2 장 : 매출 및 판매량을 기준으로한 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장 규모
3 장 : 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 제조업체 경쟁 환경, 가격, 판매량 및 매출 시장 점유율, 최신 동향, M&A 정보 등에 대한 자세한 분석
4 장 : 종류별 시장 분석을 제공 (각 세그먼트의 시장 규모와 성장 잠재력을 다룸)
5 장 : 용도별 시장 분석을 제공 (각 세그먼트의 시장 규모와 성장 잠재력을 다룸)
6 장 : 지역 및 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량. 각 지역 및 주요 국가의 시장 규모와 성장 잠재력에 대한 정량적 분석을 제공. 세계 각국의 시장 개발, 향후 개발 전망, 시장 기회을 소개
7 장 : 주요 업체의 프로필을 제공. 제품 판매, 매출, 가격, 총 마진, 제품 소개, 최근 동향 등 시장 내 주요 업체의 기본 상황을 자세히 소개
8 장 : 지역별 및 국가별 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모
9 장 : 시장 역학, 시장의 최신 동향, 시장의 추진 요인 및 제한 요인, 업계내 업체가 직면한 과제 및 리스크, 업계의 관련 정책 분석을 소개
10 장 : 산업의 업 스트림 및 다운 스트림을 포함한 산업 체인 분석
11 장 : 보고서의 주요 요점 및 결론
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■ 보고서 목차1. 조사 및 분석 보고서 소개 2. 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 전체 시장 규모 3. 기업 환경 4. 종류별 시장 분석 5. 용도별 시장 분석 6. 지역별 시장 분석 7. 제조업체 및 브랜드 프로필 Applied Materials, Mattson Technology, Kokusai Electric, Ultratech (Veeco), Centrotherm, AnnealSys, Koyo Thermo Systems, ECM, CVD Equipment Corporation, SemiTEq Applied Materials Mattson Technology Kokusai Electric 8. 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 생산 능력 분석 9. 주요 시장 동향, 기회, 동인 및 제약 요인 10. 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 공급망 분석 11. 결론 [그림 목록]- 종류별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 세그먼트, 2023년 - 용도별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 세그먼트, 2023년 - 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장 개요, 2023년 - 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장 규모: 2023년 VS 2030년 - 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출, 2019-2030 - 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량: 2019-2030 - 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 기준 상위 3개 및 5개 업체 시장 점유율, 2023년 - 글로벌 종류별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출, 2023년 VS 2030년 - 글로벌 종류별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 글로벌 종류별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 글로벌 종류별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 가격 - 글로벌 용도별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출, 2023년 VS 2030년 - 글로벌 용도별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 글로벌 용도별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 글로벌 용도별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 가격 - 지역별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출, 2023년 VS 2030년 - 지역별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 지역별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 지역별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 북미 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 북미 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 미국 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 캐나다 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 멕시코 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 유럽 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 유럽 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 독일 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 프랑스 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 영국 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 이탈리아 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 러시아 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 아시아 지역별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 아시아 지역별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 중국 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 일본 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 한국 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 동남아시아 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 인도 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 남미 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 남미 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 브라질 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 아르헨티나 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 중동 및 아프리카 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 매출 시장 점유율 - 중동 및 아프리카 국가별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 판매량 시장 점유율 - 터키 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 이스라엘 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 사우디 아라비아 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 아랍에미리트 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장규모 - 글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 생산 능력 - 지역별 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 생산량 비중, 2023년 VS 2030년 - 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 산업 가치 사슬 - 마케팅 채널 ※납품 보고서의 구성항목 및 내용은 본 페이지에 기재된 내용과 다를 수 있습니다. 보고서 주문 전에 당사에 보고서 샘플을 요청해서 구성항목 및 기재 내용을 반드시 확인하시길 바랍니다. 보고서 샘플에 없는 내용은 납품 드리는 보고서에도 포함되지 않습니다. |
| ※참고 정보 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 전체에 걸쳐 균일하고 정밀한 온도 제어를 통해 짧은 시간 내에 열 처리를 수행하는 데 사용되는 핵심 장비입니다. RTP-A 시스템은 전통적인 로(furnace) 방식의 열 처리 방식이 가지는 긴 공정 시간과 낮은 온도 균일성 문제를 해결하기 위해 개발되었습니다. 이러한 장비는 주로 실리콘 웨이퍼를 대상으로 하며, 다양한 종류의 재료 증착 후의 열처리, 이온 주입 후의 활성화, 박막의 결정화 및 재결정화 등 반도체 소자 특성을 결정하는 데 필수적인 역할을 수행합니다. RTP-A 시스템의 핵심적인 개념은 '빠른 열 전달'과 '정밀한 온도 제어'에 있습니다. 기존의 로 방식은 웨이퍼를 천천히 가열하고 냉각시켜야 했기 때문에 상당한 시간이 소요되었으며, 이는 웨이퍼 전체의 온도 균일성을 확보하는 데 어려움을 야기했습니다. 반면, RTP-A 시스템은 복수의 고출력 램프(주로 할로겐 램프)를 사용하여 웨이퍼 표면에 집중적으로 복사 에너지를 전달함으로써 수 초에서 수 분 내에 목표 온도에 도달하게 합니다. 또한, 웨이퍼 표면의 온도를 실시간으로 측정하고 피드백 제어를 통해 온도 분포를 균일하게 유지하는 능력이 탁월합니다. 이러한 특징 덕분에 RTP-A 시스템은 미세화되고 복잡해지는 반도체 소자 제조 공정에서 요구되는 높은 정밀도를 충족시킬 수 있습니다. RTP-A 시스템의 주요 특징은 다음과 같습니다. 첫째, **빠른 공정 속도**입니다. 램프를 이용한 복사열 전달은 기존 로 방식에 비해 가열 및 냉각 속도가 훨씬 빠르므로, 전체 공정 시간을 획기적으로 단축할 수 있습니다. 이는 생산성 향상에 직접적으로 기여하며, 특히 대량 생산이 중요한 반도체 산업에서 매우 중요한 장점입니다. 둘째, **우수한 온도 균일성**입니다. 웨이퍼를 회전시키거나 램프 배열 및 출력을 정밀하게 제어함으로써 웨이퍼 전체 표면에서 온도 편차를 최소화할 수 있습니다. 이러한 균일성은 소자 특성의 일관성을 보장하는 데 필수적입니다. 셋째, **정밀한 온도 제어**입니다. 실시간 온도 측정 센서(예: 파이로미터)와 고급 제어 알고리즘을 통해 설정된 온도 프로파일을 정확하게 따를 수 있습니다. 이를 통해 재현성 높은 공정 결과를 얻을 수 있습니다. 넷째, **다양한 분위기 제어**입니다. 질소, 아르곤과 같은 불활성 기체뿐만 아니라 수소, 산소와 같은 반응성 기체를 사용하여 다양한 열 처리 공정을 수행할 수 있습니다. 이는 특정 재료의 특성을 개선하거나 원치 않는 반응을 방지하는 데 중요합니다. 다섯째, **다중 웨이퍼 처리 능력**입니다. 일부 RTP-A 시스템은 여러 개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있도록 설계되어 있어 생산 효율성을 더욱 높일 수 있습니다. RTP-A 시스템의 종류는 주로 웨이퍼를 로딩하고 처리하는 방식, 그리고 열원 방식에 따라 구분될 수 있습니다. 웨이퍼 로딩 방식에 따라 **싱글 웨이퍼 시스템**과 **멀티 웨이퍼 시스템**으로 나눌 수 있습니다. 싱글 웨이퍼 시스템은 하나의 웨이퍼를 개별적으로 처리하므로 가장 정밀한 온도 제어와 균일성을 확보하는 데 유리하며, 고급 공정에 주로 사용됩니다. 멀티 웨이퍼 시스템은 여러 개의 웨이퍼를 동시에 처리하여 생산성을 높이는 데 중점을 둡니다. 열원 방식에 있어서는 현재 대부분의 RTP-A 시스템이 **램프 기반 시스템**을 사용하지만, 과거에는 저항 히터 방식도 사용되었습니다. 램프 기반 시스템은 빠른 응답 속도와 높은 온도 균일성을 제공하지만, 램프의 수명이나 교체 비용 등의 고려 사항이 있습니다. RTP-A 시스템은 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 매우 광범위하게 활용됩니다. 가장 대표적인 용도는 다음과 같습니다. 첫째, **이온 주입 후 어닐링 (Annealing after Ion Implantation)**입니다. 이온 주입 공정은 웨이퍼에 불순물을 주입하여 전기적 특성을 변화시키지만, 동시에 웨이퍼 결정 격자에 손상을 입힙니다. RTP-A를 통해 짧은 시간 동안 높은 온도로 처리하면, 손상된 결정 구조를 복구하고 주입된 불순물을 활성화하여 원하는 전기적 특성을 구현할 수 있습니다. 둘째, **박막 증착 후 열처리 (Post-deposition Annealing)**입니다. 화학 기상 증착(CVD)이나 물리 기상 증착(PVD) 등으로 증착된 박막은 비정질 상태이거나 밀도가 낮을 수 있습니다. RTP-A를 통해 결정성을 향상시키고 박막 내의 불순물을 제거하거나 이동시켜 전기적, 물리적 특성을 개선할 수 있습니다. 셋째, **금속화 공정에서의 열처리 (Annealing in Metallization Process)**입니다. 반도체 소자 내의 배선에 사용되는 금속(예: 알루미늄, 구리)은 접촉 저항을 낮추고 안정성을 높이기 위해 열 처리가 필요합니다. RTP-A는 이러한 금속 박막의 결정 구조를 재배열하고 인터페이스를 개선하는 데 사용됩니다. 넷째, **실리사이드 형성 (Salicide Formation)**입니다. MOSFET과 같은 소자에서 트랜지스터의 게이트와 소스/드레인 영역의 전기적 특성을 향상시키기 위해 실리콘과 금속(예: 티타늄, 코발트)이 반응하여 실리사이드라는 화합물을 형성하는 공정입니다. RTP-A는 이러한 실리사이드 형성 반응을 효율적으로 제어하는 데 필수적입니다. 다섯째, **산화막 성장 및 개질 (Oxidation Growth and Modification)**입니다. 특정 조건에서는 RTP-A를 사용하여 얇은 산화막을 성장시키거나 기존 산화막의 계면 특성을 개선하는 데 활용될 수도 있습니다. RTP-A 시스템과 관련된 기술들은 지속적으로 발전하고 있으며, 주요 기술로는 **정밀한 온도 측정 및 제어 기술**이 있습니다. 웨이퍼 표면 온도를 실시간으로 정확하게 측정하기 위해 다양한 파장의 파이로미터가 사용되며, 웨이퍼의 재질, 표면 상태, 로 내 분위기 등에 따라 최적의 측정 방법을 선택하는 것이 중요합니다. 또한, 복잡한 온도 프로파일을 정확하게 구현하기 위한 고급 제어 알고리즘 개발이 중요합니다. **균일성 향상을 위한 열 설계 기술** 역시 핵심적인 부분입니다. 램프의 배열, 반사판의 설계, 로 내 구조 최적화 등을 통해 웨이퍼 전체에 걸쳐 균일한 열 분포를 달성하는 것이 중요합니다. **재료 호환성 및 오염 제어 기술**도 중요합니다. 웨이퍼와 직접 접촉하는 챔버 재질이나 부품들은 고온의 공정 조건에서도 안정해야 하며, 금속 오염이나 입자 발생을 최소화하는 것이 필수적입니다. 더불어, **공정 자동화 및 데이터 관리 기술**은 생산 효율성과 공정 추적성을 높이는 데 기여합니다. 최근에는 더욱 미세화되고 복잡한 구조의 반도체 소자를 제조하기 위해 RTP-A 시스템에 대한 요구사항이 더욱 엄격해지고 있습니다. 예를 들어, 3D NAND 플래시 메모리와 같이 적층 구조가 복잡한 소자에서는 웨이퍼 상부와 하부 간의 온도 균일성을 확보하는 것이 더욱 중요해졌습니다. 또한, GAA(Gate-All-Around) 트랜지스터와 같이 새로운 구조의 소자 개발에 따라 특수한 열 처리 조건이나 재료에 대한 대응 능력 또한 요구되고 있습니다. 이러한 기술적 진보는 RTP-A 시스템의 성능을 더욱 향상시키고, 반도체 산업의 발전을 견인하는 중요한 요소로 작용하고 있습니다. RTP-A 시스템은 단순한 열 처리 장비를 넘어, 반도체 소자의 성능과 신뢰성을 결정하는 핵심적인 역할을 수행하며, 미래 첨단 반도체 기술의 발전에 지속적으로 기여할 것입니다. |
| ※본 조사보고서 [글로벌 신속 열 처리-어닐링 (RTP-A) 시스템 시장예측 2024-2030] (코드 : MONT2407F43828) 판매에 관한 면책사항을 반드시 확인하세요. |
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